预算682万，郑州大学力学与安全工程学院仪器设备采购公开招标

2021年10月23日 15:30:04 人气: 12476 来源: 仪表网

　　【仪表网仪表产业】10月21日，中国政府采购网发布了郑州大学力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目公开招标公告，项目预算682万元，采购反应式等离子蚀刻机、磁控溅射镀膜机等。

　　项目编号：豫财招标采购-2021-1240

　　项目名称：郑州大学力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目

　　采购方式：公开招标

　　预算金额：6,820,000.00元

　　最高限价：6820000元

序号	包号	包名称	包预算（元）	包最高限价（元）
1	豫政采(2)20212092-1	郑州大学力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目包一等离子体增强沉积系统、真空内晶圆传输机械手等	2789700	2789700
2	豫政采(2)20212092-2	郑州大学力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目包二反应式等离子蚀刻机、磁控溅射镀膜机等	2931850	2931850
3	豫政采(2)20212092-3	郑州大学力学与安全工程学院光机电与生医微系统制造平台仪器设备采购项目包三高精密自动平移滑台、高精密自动升降滑台等	1098450	1098450

　　采购内容：

　　包一含等离子体增强沉积系统、真空内晶圆传输机械手等，其中真空内晶圆传输机械手、晶圆传输机械手、真空内无油伸降装置可投进口产品；包二含反应式等离子蚀刻机、磁控溅射镀膜机等；包三含高精密自动平移滑台、高精密自动升降滑台等。

　　用途：用于郑州大学力学与安全工程学院。

　　验收标准：按照招标文件的技术要求以及国家或行业现行标准执行。

　　交货期：国产设备120日历日内，进口设备180日历日内。

　　投标截止时间及地点

　　时间：2021年11月12日09时00分(北京时间)

　　地点：本项目要求采用“远程不见面”开标方式，远程开标大厅网址为www.hnggzyjy.cn，投标人无需到河南省公共资源交易中心现场参加开标会议，无需到达现场提交原件资料。

　　开标时间及地点

　　时间：2021年11月12日09时00分(北京时间)

　　地点：河南省公共资源交易中心远程开标室(三)-5(郑州市经二路12号(经二路与纬四路向南50米路西))

关键词：等离子蚀刻机

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